2024-08-23
上海市2024年度“科技创新行动计划”探索者计划(第一批)申报通知
各二级单位,机关及直属各部门:上海市科委发布2024年度“科技创新行动计划”探索者计划(第一批)申报指南(关于发布上海市2024年度“探索者计划”(第一批)项目申报指南的通知_项目申报_上海市科学技术委员会 (sh.gov.cn)),相关信息如下:一、征集范围专题一:集成电路研发及智能制造方向1:互补场效应晶体管栅围寄生效应及器件性能提升方法研究研究目标:针对先进器件互补场效应晶体管(CFET)产业应用需求问题,研究揭示CFET栅围的复杂寄生分布特性,建立寄生特性高效提取方法以及晶体管精准物理模型,探索CFET器件性能提升技术,实现CFET器件特征频率提升10%,提供寄生单元电路的优化路径和设计方法,精度与稳定性误差低于5%。研究内容:基于CFET器件的物理原理、器件结构和寄生提取方法,研究三维片状堆叠结构中栅围寄生效应的存在形态、引入机制和减缓机理,研究寄生电容在片精准测量及标定技术建立在片阵列化fF级寄生电容分离抽取方案,形成在片阵列化极微小寄生特性高效测试技术及表征方法;建立涵盖栅围寄生效应的CFET精准紧凑物理模型,采用设计工艺协同优化(DTCO)开展CFET基本单元电路性能分